Nano Inspection

Si wafer 혹은 Glass substrate의 안쪽과 바깥쪽 결점의 검사 장비에 사용되는 스테이지로서 나노급의 미세한 결점 검사에 적합한 제품군입니다.

Overlay

Si wafer 의 연속적으로 적층되는 layer를 이용해 패턴의 횡적변형 에러를 검출하는 기술장비에 사용되는 스테이지입니다.

Vacuum Stage

반도체 공정에서 진공시스템이 설치된 검사장비에 사용할 수 있는 초정밀 진공 스테이지입니다.

Other inspection

Si wafer상의 defect의 크기가 다소 큰 um 단위의 검사장비에 사용되는 스테이지입니다.